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我的“芯路历程

河内快三计划       国家主席习近平在博鳌亚洲论坛2018年年会开幕式演讲中指出:1978年,在邓小平先生倡导下,以中共十一届三中全会为标志,中国开启了改革开放历史征程,今年是改革开放40周年。40年来,中华民族砥砺奋进、顽强拼搏,用锐意进取的精神和勤劳智慧的双手书写了国家和民族发展的壮丽史诗。    

      改革开放40年,也是中国集成电路从无到有、从小到大、从弱渐强的40年。我作为改革开放的受益者、中国集成电路产业快速发展的见证者,深深认同习近平总书记对改革开放40年中国发生翻天覆地变化的高度评价。

      1978年10月,我有幸成为恢复高考后的第二届大学生,结束了三年多的知青生活,踏入了吉林大学的校园,成为半导体系半导体材料专业的一名新生。当时的系主任高鼎三教授,是同北大黄昆教授、复旦谢希德教授齐名的新中国第一代半导体专家。难忘迎新会上,高鼎三教授深情寄语青年学子:好好学习,为中国的半导体事业贡献自己的力量!时隔40年,当年“时代骄子”们发奋学习、立志报国的使命意识和拼搏精神,历历在目,恍若昨天。77、78级同学,如今大多功有所长,成为院士、教授等半导体领域的专家,为中国集成电路产业的发展做出了自己的贡献!

      1983年6月,我大学毕业分配到无锡742厂(华晶集团前身),正赶上国家“六五”规划引进的东芝3英寸、5微米双极型模拟集成电路生产线安装、调试阶段。我被分配在理化检测班组,和其它当年新毕业的大学生一样,参加三班倒,日以继夜,查资料、翻译说明书,向有经验的老师傅和外国专家请教,努力弄懂、弄通设备的工作原理和操作步骤,认真检查在线制品缺陷情况,及时反馈理化分析结果,为当时的“引进、消化、吸收”做出了自己的贡献。这段刻苦钻研、在生产一线打拼的经历,为以后成为技术管理干部打下了坚实的基础。

      1989年2月,机械电子工业部提出“加快基地建设,形成规模生产,注重发展专用电路,加强科研和支持条件,振兴集成电路产业”发展战略,并于1990年8月立项,命名为“908工程”。我有幸参与了“908工程”理化中心的建设,更加全面地掌握了进厂原材料检验、计量器管理、失效分析技术等。

河内快三计划       1995年11月,电子工业部向国务院做了“九五规划”期间加速我国集成电路产业发展的专题汇报,决定实施“909工程”。1996年2月华虹微电子有限公司(华虹集团前身)成立。时任电子工业部部长的胡启立同志亲任华虹集团第一任董事长,充分体现了老一辈国家领导人对振兴中国集成电路产业的责任心和紧迫感。1996年5月,我和20多位华晶的同事作为第一批技术骨干来到浦东这块改革开放的热土,迅速投入到“909工程”超大规模集成电路芯片生产线项目建设中。

河内快三计划       1998年1月,我们一行68人作为华虹NEC(华虹一厂)第一批赴日培训人员到达NEC相模原基地。经过两周的品质、安全、环境和半导体基础知识等集中培训后,大家分散到广岛、九州、山口、关西和相模原等研发和生产基地,开始了为期半年的紧张、充实的技术培训。在日培训期间,大家满怀强烈的责任心和使命感,千方百计、互帮互助。有经验的同志主动向年轻同事传授半导体专业知识,日语水平好的帮助弱的同事翻译资料、整理笔记。晚上和周末加班加点学日语、看资料,互相交流学习体会和心得。想尽办法多听、多看、多动手,力争学通、学懂每天的培训内容,以便回国后能为“909工程”贡献自己的一份力量。正是这份责任心和使命感,使第一阵的实习取得圆满成功。到7月10日,除少数培训生留在日本协助带教第二阵培训外,其余人员全部按计划学成回国,投入到项目建设中。

河内快三计划       回到上海,正值盛夏酷暑,骄阳似火,热浪袭人。但我们的心情也和这盛夏的天气一样火热。仅休息一天,大家就赶到公司上班。当时生产厂房和办公大楼的土建工程已基本结束,正在进行内装修。大家利用休息日到工地参加义务劳动。记得一次在办公楼清理建筑垃圾,室内尘土飞扬,闷热难耐。一会儿的工夫,个个汗流满面、灰头土脸。但大家热气高、干劲大,为能进一份微薄之力而欢欣鼓舞。为加快工程建设多流一滴汗、多出一份力是所有参加“909工程”建设者的共同心愿。还有一次的经历印象特别深刻:为了接待电子部和上海市领导视察工地,我和另两位同事先进入净化间看路线。这是我第一次进入正在装修的净化间:大功率的聚光灯耀眼眩目,室内闷热难奈,工人们正在紧张地忙碌着。正像《芯路历程》所记述的那样:在没有窗户、没有空调的生产车间内,别说在里面施工作业,就是走上一圈都感觉像蒸桑拿。“909工程”的建设正是凭着全体建设者不畏艰难、知难而进的奉献精神和振兴中国半导体产业的拼搏精神,取得了比预定目标提前七个月建成投产的好成绩。

河内快三计划        “909工程”取得了预期的成就,缩小了集成电路产业国内外差距,带动了上下游产业的发展,也培养了一批本土技术、管理人才,为后来的“909工程”升级改造项目打下了坚实的基础。

河内快三计划       2010年1月,华力微电子(华虹五厂)在张江高科技园区成立,她承担着国家“909工程”升级改造—12英寸集成电路芯片生产线项目的建设和运营重任,是国家《电子信息产业调整和振兴规划》确定的重大工程。我于5月借调到华力微电子,协助编写检测设备的技术规格和标书,并与8月正式转移到华力,筹建产品品质部。

      华力微电子是国内第一条全自动化12英寸集成电路生产线。和当初的华虹NEC 的最大的不同是,华力没有引进成套的工艺技术,完全依靠华虹集团自身的技术积累,自主开发了55纳米工艺技术并通过了可靠性评价。面对部门员工大多是新毕业大学生的实际情况,我们在产品品质部成立初期就非常重视新员工的技术培训和业绩考核工作,多次在部门会议上强调培养新员工迅速融入团队、尽快适应岗位需要是各级管理者的重要职责之一,制定了产品品质部培训考核程序,明确了各级管理人员的职责、培训内容、考核标准等,使新员工能够得到系统全面的培训,业务能力迅速提高,满足了各岗位的技术要求。2011年4月,在试生产准备阶段,为确保净化间环境各项指标满足工艺条件的要求,我们积极主动和工程技术、动力部合作确定FAB验收技术规格,反复监测并对不合格区域提出改善建议,多次组织党员和积极分子利用业余时间清扫设备和生产现场,解决了颗粒超标的问题,确保了5月初试生产时净化环境达标。

河内快三计划       2016年12月30日华力12英寸先进生产线(华虹六厂)建设项目打下第一根基桩。该项目建设开工以来,经过16个半月508天、近100万人日的艰苦奋战,主厂房完成净化装修。为了确认净化间环境条件,质量和可靠性部的同仁立刻投入环境检测的工作中。室外道路高低不平和厂房电梯未启用前,全靠人抬肩扛把检测设备搬入了生产厂房,为确保521首台设备搬入提供环境检测数据。2018年5月21日,首台搬入的工艺设备NXT 1980Di光刻机,是目前中国大陆集成电路生产线最先进的浸没式光刻机。看着新厂房拔地而起,看着工艺设备、试验室检测设备一台台搬入、安装、调试,先进生产线初具规模,职业自豪感油然而生!

      自上世纪80年代从业集成电路制造至今,职业生涯已走过35个春秋。亲历了从“六五”成套引进3英寸、5微米生产技术到“十三五”自主研发12英寸、28~14纳米量产工艺的芯路历程;见证了国家集成电路产业规划从“引进、消化、吸收”到“自主、可控、创新”的历史蜕变。个人也从一个懵懂的大学生,成长为一名质量技术管理干部。虽然芳华已逝,但半导体人的情结依旧!展望未来,寄语同仁:不忘初心,砥砺前行,一茬接着一茬干,中国的集成电路产业一定能摆脱受制于人的被动局面。                                                                

河内快三计划                                                                               华力微电子

河内快三计划  品质与可靠性部 王继华

河内快三计划                                                                              2018.7.20